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Brooks Instrument品牌介紹:

Brooks Instrument是精密流體測量和控制技術的*生產者，能夠實現精確的工藝性能，成立于1946年美國。是是ITW一個部門，ITW是的專業工業設備，消耗品和相關服務業的多元化制造商之一。

美國BROOKS INSTRUMENT主要產品包括：Brooks Instrument質量流量控制器、Brooks Instrument轉子流量計、Brooks Instrument壓力傳感器、變送器、真空計、調節器、控制器等，廣泛應用于重工業、油氣精煉、化學和石化研究、制藥和生物制藥生產、太陽能電池、LED薄膜、光纖和半導體制造領域。過程控制是使您的生產超越尋常并實現新的性能水平的關鍵。要控制任何過程，您必須首先對其進行精確測量。這就是使Brooks Instrument成為精密流體測量和控制技術的*的原因。他們實現了精確的過程性能。他們提供的結果始終為他們的客戶創造競爭優勢。在重工業中。在石油和天然氣精煉中。化學和石化研究。制藥和生物制藥生產。

Brooks Instrument是《財富》200強公司ITW(伊利諾伊州工具廠)的子公司。ITW是專業工業設備，消耗品和相關服務業務的多元化制造商之一。該公司已經繁榮了100多年，因為ITW的每一項業務都具有獨立的企業家精神和創新自由。世界ITW的才華橫溢的人們通過新產品和客戶驅動的解決方案來推動他們的成功。這就是使Brooks Instrument成為精密流體測量和控制技術的*的原因。他們實現了精確的過程性能。他們提供的結果始終為他們的客戶創造競爭優勢。在重工業中。在石油和天然氣精煉中。化學和石化研究。制藥和生物制藥生產。太陽能電池，LED，薄膜，光纖和半導體制造。超越。

Brooks Instrument憑借其開創性的流體測量和控制技術，一直是該市場的。布魯克斯儀器公司是值得信賴的合作伙伴，因為他們的流量，壓力和汽化儀器儀表非常準確。這是可靠的。穩定的。可重復的。耐用的。在要求工業和電子制造系統中，逐年，十年又十年地證明了這一點。它不斷融合創新，將測量和控制技術提升到新的靈活性和精度水平。過程控制是使您的生產超越尋常并實現新的性能水平的關鍵。要控制任何過程，您必須首先對其進行精確測量。

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BROOKS INSTRUMENT主要產品

BROOKS INSTRUMENT彈性體密封壓力控制器、BROOKS INSTRUMENT流量計

、BROOKS INSTRUMENT控制器、BROOKS INSTRUMENT流量傳感器

、BROOKS INSTRUMENT壓力控制器、BROOKS INSTRUMENT流量變送器

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BROOKS INSTRUMENT產品介紹

質量流量控制器和儀表

為真正實現對每個過程的控制，用戶必須精確測量進行中的過程 — 范圍涉及饋線、倉室等每一處 — 然后利用所得到的實時信息確保過程準確按照目標執行并達到目標產率。

作為一家在液體精確測量與控制方面的企業，布魯克斯儀器數十年來不斷堅持創新熱質量流量技術，推出新產品并不斷提升現有系統性能以突破現有熱質量流量技術在準確性、響應速度、精度和重現性方面的限制。

質量流量設備在*得到廣泛應用的關鍵原因：

擁有業內種類的產品系列可滿足各種應用需求

創新型 MultiFlo™ 技術可使一臺設備完成氣體類型和量程的切換工作并且無需從系統中拆除設備，同時還能夠提升過程氣體的測量準確性

產品范圍全面，包括彈性體密封和金屬密封選件

超高純度設備，專為滿足薄膜、半導體以及其他高科技行業需求而設計

熱處理、切割等其他熱過程

半導體和 LED 生產工具

薄膜淀積系統

用于生物制藥的生物反應器

石化和化工氣體和液體試驗工廠

吹掃氣體、過程分析和分析用流量測定

橡膠密封質量流量計和控制器將工藝所需的準確性、可靠性和可重復性相結合，是一種能夠為您提供高精度性能和長期穩定性并且經濟有效的測量儀器。結果：使運營投資價值和回報。

關鍵應用

化學品與石化分析和試驗過程

實驗室和分析系統

生命科學實驗室

薄膜氣相沉積

熱處理、切割等其他熱過程

真空應用

選擇自身工藝需求的質量流量設備。

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變面積流量計（轉子流量計）

作為變面積 (VA) 流量計（轉子流量計）技術的*之一，Brooks Instrument 生產各式組合的流量計，安裝并幾乎用于各行業和各應用途徑。

這種廣泛的產品組合包括鎧裝金屬 和玻璃管轉子流量計每一個的設計都旨在能夠經久耐用、可重復、可靠地測量氣體和液體流量。它們的特點是：

可靠易讀的顯示屏

任何情況下都指示故障安全流量

能補償變化壓力的一體化流量控制器

適用多個壓力范圍的材料和設計

現場可更換的組件和定制秤

可選的流量開關與自動閥或警報器相集成

關鍵應用

基本的液體或氣體流量測量

旋轉設備的流量測量

過程分析儀

海上石油鉆井平臺的高壓流

化學劑注入

清洗液體或氣體的計量------

122系列機械壓力表

型號S122/C122/F122Brooks Instrument 122系列機械壓力表是為要求苛刻的半導體行業高純度應用而設計和開發的。他們的機械壓力表由不銹鋼制成，精度為滿刻度的1%。這兩個英寸的壓力表是耐用的測量設備，可用于各種過程連接，壓力范圍和插座方向，從而提供了一種可靠而有效的本地壓力監測方法。從壓力表供應商處獲得精確的高性能結果。

特點

極廣泛的流量范圍 - 支持很低到很高程度的流速

溫度為 -325°F - 788°F (-198°C - 420°C )

壓力高達 6,000 psi（標準產品）和20,000 psi（定制型）

帶現場操作接口（可選）的增強型 LCD 顯示屏

符合 SIL 2 要求的高/低流量報警功能

316SS 不銹鋼防爆外殼符合 ATEX 氣體組 IIC/1 類 1 級危險區等級

選擇的耐腐蝕防潮材料和指示器外殼滿足苛刻的應用需求

墊片密封面符合 ASME 要求，無需特殊墊片

流量變送器可擁有HART® 7 或 FOUNDATION™ Fieldbus功能并且獲得了*認證

優勢

任何 VA 流量計即使在非常低和最高的工藝溫度下都能進行可重復的流量測量

設計符合 ASME B31.3 - 世界主要工業設施要求

產品文檔、材料跟蹤和項目規劃與 EPC 系統集成商的需求相融合

無需電源 - 降低了使用成本和安裝復雜程度

可靠的流量測量技術允許通過模擬或數字接口與控制系統進行通訊，即使沒有可用電源

廣泛的壓力和溫度范圍允許就多用途只選擇一個流量計

可用性和可靠性 - *使用已數十年

*范圍內批準在易爆、危險環境中使用，符合國際最高防爆安全要求

多個接頭選擇，易于安裝

法蘭設計避免了對特殊墊片的需求

對焊法蘭標準，可接受完整性檢查

應用

基本的液體或氣體流量測量

監測旋轉設備的潤滑劑和/或冷卻液

計量添加劑

監測熔爐氣體

海上石油鉆井平臺的高壓流

化學劑注入

金屬密封熱式質量流量控制器和儀表

最高純度氣路。超高精確，無污染的控制。

現今許多高級電子元器件的加工工藝都需要能夠對昂貴的超純氣體和液態前體進行相當準確并且具有高度可重現性的測定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的革命性金屬密封熱質量流量控制器和儀表來滿足上述需求。該產品將穩定性和準確性超高的測量傳感器與快速、精準的控制閥以及功能強大的電子元件相結合共同實現了精準的化學品控制。高完整性（無泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過程化學品純度，該流路專為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過程媒介而設計。

關鍵應用

硅材料半導體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴散、植入和 RTP

化合物半導體器件加工工藝 – MOCVD

精密的表面涂層

分析系統

真空處理應用

選擇自身工藝需求的質量流量設備。

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-VDM300 DI水蒸氣輸送模塊特征

流量范圍：3 slpm(DIW蒸氣)

直接水蒸氣測量，流量精度高

直接連接到房屋去離子水供應

在較低溫度下運行(非過熱狀態)

優化的沖洗和排水設計

EtherCAT數字通信

Brooks專家支持工具(BEST)圖形用戶界面

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彈性體密封壓力控制器

使用穩定的電子壓力控制器可獲得更好的精度，穩定性和可靠性。

Brooks Instrument的彈性體密封壓力控制器經過精心設計，堅固，耐用且具有成本效益，同時為*用戶提供了持續可靠的精度，這得益于流體測量和控制領域的。他們電子壓力控制器利用了行業熱質量流量控制器中存在的核心控制技術。

他們的彈性體密封壓力控制器通過消除與傳統機械彈簧膜片壓力調節器相關的下垂和滯后，實現了閉環控制。Brooks壓力控制器帶有內部壓力傳感器，可控制高達4500 psig的壓力。結果：電子壓力控制器使關鍵過程保持在目標位置。

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BROOKS INSTRUMENT產品型號

流量計1026NC032AA1F9F00001

流量計1026NC032AA1C9E00001,SCALE24-240L/HR

質量流量控制器BROOKS INSTRUMENTS SLA5853S測量量程：0-1000 Nl/min

INSTRUMENTs流量計1350EM2BCNF1A

S-097-Y-208-AA、112804

流量控制器SLA5853S2GAB2C2A1

電源0250系列0254AB2A21A

流量計MT3809系列3809GZ4114

流量控制器SLA5853系列SLA5853/S-2G-A-B-2-C-2-A-1

SLA5850-SB1AB1C2A1,0-2,5NL/MIN

流量計FR2A14SVVT(0.4-5LPM)

流量計GT1001020NK1D1AA2FC9CA001

質量流量控制器541-C-06-AAG REW

5700 系列5700質量流量控制器

5850E 系列5850E, i / 5851E, i / 5860E, i / 5861E, i / 5853E, i / 5863E, i質量流量控制器

GF40 系列質量流量控制器

SLA 系列SLA5850 / SLA5851 / SLA5853 / SLA5860 / SLA5861 / SLA5863質量流量控制器

SLAMf 系列SLAMf50 / SLAMf51 / SLAMf53 / SLAMf60 / SLAMf61 / SLAMf63 / SLAMf64質量流量控制器

5850EM 系列5850EM / 5851EM質量流量控制器

GF80 系列質量流量控制器

GF100 系列GF100 / GF101 / GF120 / GF120 / GF120XSL / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126質量流量控制器

GF100 系列 EtherCATGF100 / GF101 / GF120 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126

5850EMH 系列5850EMH / 5851EMH質量流量控制器

GF120xHT 系列質量流量控制器

Quantim® 系列SLA5850

Sho-Rate™ 系列可變面積流量計（轉子流量計）

FC 系列FC8744 / FC8800 / FC8900可變面積流量計（轉子流量計）

MT3750 系列3750C可變面積流量計（轉子流量計）

MT3809 系列3809G / 3809G ELF / 3809G TFE Lined / 3810G可變面積流量計（轉子流量計）

8600 系列8601

122 系列壓力表S122 / C122

122 系列開關IPS122 / IPT122

SolidSense II® 系列GF / GF

5866RT5866RT

SLA5800 系列SLA5810 / SLA5820 / SLA5840

SLAMf 系列SLAMf10 / SLAMf20

PC100 系列PC115 / PC125壓力和真空產品

半導體產品

CMC 系列CMC壓力和真空產品

半導體產品

XacTorr® 系列CMX0 / CMX1 / CMX2 / CMX3壓力和真空產品

半導體產品

VDM300VDM300汽化產品

半導體產品

0250 讀數應用0251 / 0254附件和軟件

0260 系列

LR-056 系列

0260 系列軟件V1.0.3.1附件和軟件

Brooks Expert Support Tool (BEST)V5.12.0.0 / V5.10.0.0附件和軟件

GP200 嵌入式氣體數據庫V403 / V401 / V400 / V399附件和軟件

MultiFlo™ 配置器GF100 EtherCAT MFC的驅動程序 / 使用USB 2.5mm電纜的設備驅動程序 / V5.34 / V5.32 / FloCom 數據庫 db220418 / FloCom 數據庫 db190701附件和軟件